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Neue Wege

LED effizienter machen

Von Wiley-VCH zur Verfügung gestellt

Die nasschemischen Ätzreaktionen von Galliumnitrid zu verstehen hilft, sie gezielt manipulieren zu können. Dies macht es einfacher und kostengünstiger, Leuchtdioden (LED) herzustellen.

Galliumnitrid ist das zentrale Material für blaue und weiße Leuchtdioden (LED).1) Der Ätzprozess von Galliumnitrid in heißer KOH-Lösung ist wichtig, um LED effizienter zu machen: Durch diese anisotrope Ätzung entsteht eine raue Oberfläche, die die Austrittswahrscheinlichkeit der durch Strom erzeugten Photonen steigert – und zwar bis auf das Vierfache verglichen mit der glatten Oberfläche.2) Effektiv wird die interne Totalreflexion minimiert.

In den letzten 30 Jahren gab es viele Untersuchungen zum Ätzmechanismus von Galliumnitrid in heißer KOH-Lösung sowie dazu, was Ätzrate und -homogenität beeinflusst.3) Die ermittelten Einflüsse lassen sich in material- und prozessabhängige gliedern. Zu den erstgenannten gehören die epitaktischen Wachstumsbedingungen, die Versetzungsdichte, Verunreinigungen oder der Dotiergrad des zu ätzenden Galliumnitrids.

Wissenschaft + Forschung

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