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Halbleiterforschung in Dresden

Von Wiley-VCH zur Verfügung gestellt

Die Fraunhofer-Gesellschaft hat in Dresden das Center Nanoelectronic Technologies (CNT) eingerichtet und im Juni eröffnet. Das Zentrum mit 4000 Quadratmetern Reinraumfläche, mit Laborflächen, Abscheide- und Ätzanlagen sowie Inspektions- und Analysegeräten zum Bestimmen von Defekten und Schichteigenschaften gehört zum Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS. Zudem beteiligt sich das Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) an dem neuen Forschungszentrum.

www.izm.fraunhofer.de

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