BASF
Ammoniumhydroxid
Nachrichten aus der Chemie, Dezember 2025, S. 34-35, DOI, PDF. Login für Volltextzugriff.
Von Wiley-VCH zur Verfügung gestellt
Das Chemieunternehmen BASF baut in Ludwigshafen eine Anlage für Ammoniumhydroxid Electronic Grade (NH4OH EG). Es dient dazu, in der Halbleiterfertigung Wafer zu reinigen und zu ätzen (Foto). Der Betrieb soll im Jahr 2027 starten. Zu den Kosten gibt es keine Informationen.
Ammoniumhydroxidlösung zum Reinigen auf einem Wafer. Foto: BASF
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